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1,1,2,2 - 四氟 - 6-(1 - 金刚烷羰基氧基) 己烷 - 1 - 磺酸三苯基锍盐 CAS 1204700-15-1 黄金产品 高纯度现货供应
2026-06-24
产品详情
- 产地 中国
- Cas：1204700-15-1
- 价格：1
- 产品名称1,1,2,2 - 四氟 - 6-(1 - 金刚烷羰基氧基) 己烷 - 1 - 磺酸三苯基锍盐 CAS 1204700-15-1 黄金产品 高纯度现货供应
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- 简介
中文名称:三苯基硫鎓 1,1,2,2-四氟-6-(1-金刚烷羰基氧基)己烷-1-磺酸盐
中文别称:(根据英文结构可译为) 三苯基锍 1,1,2,2-四氟-6-(1-金刚烷羰基氧基)己烷-1-磺酸盐
英文名称:triphenylsulfonium 1,1,2,2-tetrafluoro-6-(1-adamantanecarbonyloxy)hexane-1-sulfonate
英文别称:Sulfonium, triphenyl-, 5,5,6,6-tetrafluoro-6-sulfohexyl tricyclo[3.3.1.13,7]decane-1-carboxylate
分子式:C??H??S·C??H??F?O?S
分子量:678.8
主要用途
它是一种光刻胶单体(Photoresist monomer),主要用于半导体制造领域。
作用机理:作为一种鎓盐类光酸产生剂(Photoacid Generator, PAG),在曝光时分解产生酸,进而催化光刻胶树脂的化学变化。
结构特点:其分子中包含金刚烷和含氟磺酸盐结构。金刚烷基团常用于提升光刻胶的耐刻蚀性,而氟原子的引入则有助于提高光酸的扩散效率和产率。
最终效果:在深紫外(DUV)光刻等先进光刻工艺中,用于形成高分辨率的精细电路图案。
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