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(4-叔丁基苯基)二苯基氯化硫鎓盐 CAS 326925-53-5 黄金产品 高纯度现货供应
2026-06-24
产品详情
- 产地 中国
- Cas：326925-53-5
- 价格：1
- 产品名称(4-叔丁基苯基)二苯基氯化硫鎓盐 CAS 326925-53-5 黄金产品 高纯度现货供应
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- 简介
中文名称:(4-叔丁基苯基)二苯基氯化硫鎓盐
中文别称:(4-(叔丁基)苯基)二苯基锍氯化物
英文名称:(4-tert-Butylphenyl)diphenylsulfonium chloride
英文别称:(4-(Tert-butyl)phenyl)diphenylsulfonium chloride
分子式:C??H??ClS
分子量:354.94
主要用途
它是一种高效的光酸产生剂(Photoacid Generator, PAG),主要用于半导体制造领域的化学放大型光刻胶中。
在248纳米(KrF)深紫外光刻工艺中,该化合物发挥着关键作用:
工作原理:曝光于特定波长光线下时,其分子会发生光解,释放出强酸(HCl)。
化学放大:释放的强酸在后续烘烤中作为催化剂,促使光刻胶树脂发生化学变化(如脱保护),实现从“不溶解”到“可溶解”的转变。
最终效果:通过这一“化学放大”过程,能够在显影后形成高分辨率、高对比度的精密电路图形,是制造先进芯片的重要材料之一
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